| Metrology for Front End (Produktfilm ansehen) |
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Die FRT Messgeräteserie MFE (Metrology for Front End) richtet sich an die Hersteller von strukturierten Wafern, Masken, MEMS und Ähnlichem. Um dem Bedarf gerecht zu werden, handelt es sich ausschließlich um Geräte für den Einsatz im Reinraum. Die Messmethoden werden auf die jeweilige Aufgabe abgestimmt.
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| MicroGlider® |
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Der MicroGlider® ist das hochpräzise Messsystem von FRT für besonders genaue Messaufgaben. Ein luftgelagerter Rastertisch, der kontaktlos durch Linearmotoren angetrieben wird, erreicht durch den berührungslosen Antrieb wesentlich bessere Führungsgenauigkeit und deutlich geringeres Höhenrauschen als bei mechanisch gelagerten Achsen.
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| MicroProf® |
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Der MicroProf® ist der Alleskönner von FRT – konstruiert im Baukastenprinzip avanciert er durch seine vielfältigen Anwendungsgebiete zum echten Verwandlungskünstler. Die einfache und intuitive Bedienung sowie die Möglichkeit zur Einrichtung automatischer Messabläufe sparen wertvolle Zeit am Arbeitsplatz und führen zu sofort sichtbaren Ergebnissen.
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| MicroProf® TTV |
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Der MicroProf® TTV wurde speziell für die schnelle beidseitige Probenvermessung absoluter Dickenvariationen (TTV) bei Wafern, Blechen, Folien oder ähnlichen Produkten entwickelt. Das System untersucht darüber hinaus Rauheit, Kontur und Topographie der Oberfläche.
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| Sonderbau |
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Nicht alle Aufgaben der Oberflächenmessung lassen sich mit Seriengeräten bewältigen. Daher konzipiert, entwickelt und produziert FRT hoch spezialisierte Messgeräte für die laufende Produktion. Über einzelne Komponenten hinaus entwickelt FRT auch komplette Systeme, die sowohl eine vollautomatisierte Prozesskontrolle ermöglichen als auch die Integration in konkrete Bearbeitungsprozesse zur Steuerung von Maschinen erlauben.
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