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FRT bietet mit der Geräteserie MFE (Metrology for Front End) Messtechnik für höchste Anforderungen im Front End. Ein Mini-Environment der Reinraumklasse 1 umgibt Proben und Messtechnik und schützt diese zuverlässig vor unerwünschten Feinstpartikeln.
Alle Systeme sind mit leistungsfähiger Bilderfassungshardware
und automatischer Mustererkennung ausgestattet. Ein Robotik-
system für das Waferhandling (200 mm, 300 mm) sowie auto-
matisches Prealignment runden das innovative System-
konzept ab. Je nach Ausstattung können komplette Wafer
(z.B. Bow oder Warp) untersucht werden, aber auch Rauheit,
2D oder 3D-Oberflächenstrukturen oder Schichtdicken-
messungen (TTV) durchgeführt werden.
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