Der MicroGlider® ist das hochpräzise Messsystem von FRT für besonders genaue Messaufgaben. Ein luftgelagerter Rastertisch, der kontaktlos durch Linearmotoren angetrieben wird, erreicht durch den berührungslosen Antrieb wesentlich bessere Führungsgenauigkeit und deutlich geringeres Höhen- rauschen als bei mechanisch gelagerten Achsen. So können feinste Höhenveränderungen, die bei einer rein mechanischen Antriebslösung zwangsläufig auftreten, nahezu eliminiert werden. Der MicroGlider® steigert auf diese Weise noch einmal die Messgenauigkeit von Kontur, Rauheit, Topographie oder Schichtdicke.
Verfügbare Messsensoren Hauptprospekt FRT Softwarepaket

Multisensor Anordnung	Mikrofluidik Bauteil	Topographiemessung an einem optischen Bauteil

Erhöhte Messgenauigkeit Zerstörungsfreie Messung Exzellente Auflösungswerte Hervorragende Reproduzierbarkeit Automatisierbare Messabläufe Probenpositionierung per CCD-Kamera Multifunktional durch Baukastenprinzip Multisensorfähigkeit Chromatischer oder AFM Messsensor Hochpräziser Luftlagertisch Hochauflösende Wegmesssysteme Aufbau auf stabiler Granitbasis Messrechner, Monitor, Elektronik, Handbuch

FRT Acquire Messsoftware Makrosammlung für typische Messaufgaben Automatisierung komplexer Messungen Intuitiv bedienbar  FRT Mark III Analysesoftware Komplette Datenanalyse (2D und 3D) Aufzeichnung der Analyseschritte und Ergebnisse Ausdruck benutzerdefinierter Protokolle Zahlreiche Datenimport- und -exportformate Bedienung in Deutsch und Englisch Kostenlose Updates