MicroProf® TTV - Von beiden Seiten betrachtet

Der MicroProf® TTV wurde speziell für die schnelle beidseitige Probenvermessung der absoluten Dickenvariation (TTV) sowie
Rauheit, Kontur und Topographie entwickelt. Die Messung wird
durch zwei jeweils oberhalb und unterhalb eines in Rahmenbau-
weise ausgeführten Rastertisches durchgeführt. Auswechselbare Probenhalter ermöglichen die Vermessung unterschiedlichster
Proben wie z.B. Wafer, Bleche, Folien oder ähnliche Produkte.
Das Besondere am MicroProf® TTV ist auch die Möglichkeit der Automatisierung von Messabläufen durch die eingebaute
Mustererkennung sowie die Unterbringung in
einem schützenden Gehäuse.

 

 


Siebdruck auf Keramik
TTV Sensor Anordnung
Automatisierungssoftware Editieren von Positionen
TTV Sensor Anordnung


Features

  • Messung von Dickenvariationen
    (Auflösung < 10 nm)
  • Beidseitige Messung von Rauheit und Struktur
  • Messen in Produktionsumgebung
  • Automatische Mustererkennung
  • Exzellente Auflösungswerte
  • Hervorragende Reproduzierbarkeit
  • Automatisierbare Messabläufe
  • Multisensorfähigkeit
  • Zerstörungsfreie Messung
Hardware

  • Komplette Umhausung
  • Zwei chromatische Sensoren
  • Hochauflösende, telezentrische
    CCD-Kamera mit Beleuchtung
  • Kompakter x,y-Tisch in Rahmenbauweise
  • Kundenspezifische Probenhalter möglich
    (z.B. Waferhalter)
  • Rastertisch mit 410 x 300 mm oder 250 x 200 mm.
    Größere Rastertische lieferbar
  • Mechanische Achsen mit hochgenauem
    Ablauf und spielfreien Kugelumlaufspindeln
  • Hochauflösende Wegmesssysteme
  • Aufbau auf stabiler Granitbasis
  • Messrechner, Monitor, Elektronik, Handbuch
Software

  •  FRT Acquire Messsoftware
  • Steuerbar über Recipes
    (mit Device Editor)
  • Makrosammlung für typische Messaufgaben
  • Automatisierung komplexer Messungen
  • Intuitiv bedienbar

  •  FRT Mark III Analysesoftware
  • Komplette Datenanalyse (2D und 3D)
  • Aufzeichnung der Analyseschritte und Ergebnisse
  • Ausdruck benutzerdefinierter Protokolle
  • Zahlreiche Datenimport- und -exportformate
  • Bedienung in Deutsch und Englisch
  • Kostenlose Updates