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Der MicroProf® TTV wurde speziell für die schnelle beidseitige Probenvermessung der absoluten Dickenvariation (TTV) sowie Rauheit, Kontur und Topographie entwickelt. Die Messung wird durch zwei jeweils oberhalb und unterhalb eines in Rahmenbau- weise ausgeführten Rastertisches durchgeführt. Auswechselbare Probenhalter ermöglichen die Vermessung unterschiedlichster Proben wie z.B. Wafer, Bleche, Folien oder ähnliche Produkte. Das Besondere am MicroProf® TTV ist auch die Möglichkeit der Automatisierung von Messabläufen durch die eingebaute Mustererkennung sowie die Unterbringung in einem schützenden Gehäuse. |