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Der MicroProf® ist der Alleskönner von FRT. Das Profilometer ist im Baukastenprinzip konstruiert. Durch seine vielfältigen Anwendungsgebiete avanciert es zum echten Verwandlungs- künstler, ganz gleich ob es Kontur, Rauheit, Topographie oder durch Erweiterung Schichtdicken zu messen gilt. Die einfache und intuitive Bedienung sowie die Möglichkeit zur Einrichtung automatischer Messabläufe sparen wertvolle Zeit am Arbeitsplatz und führen zu sofort sichtbaren Ergebnissen. |
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| Messung an einer Metalloberfläche |
Profil einer Prägestruktur
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Strukturen auf einem Halbleiterbauteil |

- Zerstörungsfreie Messung
- Exzellente Auflösungswerte
- Hervorragende Reproduzierbarkeit
- Automatisierbare Messabläufe
- Probenpositionierung per CCD-Kamera
- Multifunktional durch Baukastenprinzip
- Multisensorfähigkeit

- Chromatischer oder AFM Sensor
- Kompakter x,y-Tisch für bestmögliche Orthogonalität
- Mechanische Achsen mit hochgenauem Ablauf
- Hochauflösende Wegmesssyteme
- Spielfreie Kugelumlaufspindeln
- Aufbau auf stabiler Granitbasis
- Messrechner, Monitor, Elektronik, Handbuch
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- FRT Acquire Messsoftware
- Makrosammlung für typische Messaufgaben
- Automatisierung komplexer Messungen
- Intuitiv bedienbar
- FRT Mark III Analysesoftware
- Komplette Datenanalyse (2D und 3D)
- Aufzeichnung der Analyseschritte und Ergebnisse
- Ausdruck benutzerdefinierter Protokolle
- Zahlreiche Datenimport- und -exportformate
- Bedienung in Deutsch und Englisch
- Kostenlose Updates
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