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Vielseitig und leistungsstark
- Bis zu 37 mm2 große Flächen in < 10 Sekunden messen
- Messungen mit Mikro- und Nanometerauflösung
- Für streuende, reflektierende und transparente Oberflächen
- Für minimal bis stark strukturierte Oberflächen
- Messung von Rauheit, Kontur, 3D-Topographie, Ebenheit, u.v.m.
Je nach Messaufgabe wird der MicroSpy® Topo DT als Konfokalmikroskop oder Weißlicht-Interferometer betrieben. Beide Verfahren arbeiten berührungslos und zerstörungsfrei. Aussagekräftige und rückführbare Messergebnisse liegen in wenigen Sekunden vor.
Konfokaler Messmodus
- Mit Industriepreis 2008 prämierte konfokale Messtechnik
- Robustes und leicht bedienbares Messverfahren
- Exzellente Tiefenschärfe frei von defokussierten Bildteilen
- Messfeldgröße durch Stitching-Funktion erweiterbar
Interferometrischer Messmodus
- Vertical-Scanning-Interferometrie (VSI-Modus) für glatte Oberflächen mit sprunghaften Höhenunterschieden
- Phase-Shift-Interferometrie (PSI-Modus) für sehr glatte Oberflächen auf Glas, Linsen oder Wafern insbesondere auch für Ebenheitsanalysen
Lieferumfang
- 2 Objektive (20 x konfokal, 50 x interferometrisch)
in 6-fach Objektivrevolver
- Langlebige und wartungsarme LED-Lichtquelle
- Steuer- und Messrechner mit TFT-Monitor
- FRT Mark III Softwarepaket (für Auswertung + Berichte)
- Motorisierter x,y-Präzisionsverfahrtisch
- Stabiler Granitaufbau
- Benutzerhandbuch
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Der FRT MicroSpy® Topo DT ist ein 3D-Mikroskop mit konfokaler und interferometrischer Messtechnik für
schnelle und zerstörungsfreie Oberflächenuntersuchungen.
Der MicroSpy® Topo DT zeichnet sich durch seine Vielseitigkeit auf rauen, reflektierenden, transparenten oder sehr glatten Proben aus.
links: 3D-Topographie einer Diamantstruktur (konfokal gemessen)
rechts: 3D-Topographie einer Chromstruktur (interferometrisch gemessen)
links: 3D-Topographie eines medizinischen Stents (konfokal gemessen)
rechts: 3D-Topographie eine Rillenkalibriernormals (interferometrisch gemessen)
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Höhenmessbereich (µm)
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180 µm mit optionaler Bereichserweiterung
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Kamera / Beleuchtung
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768 x 582 Pixel (bis 48 Bilder/s) mit Auflichtdarstellung *1, Hochleistungs-LED mit 505nm (blau-grün)
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| Systemaufbau |
Basis und Portalaufbau aus hochwertigem Granit
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Probenpositionierung
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Präzisionsverfahrtisch mit Joysticksteuerung und optionale Kippfunktion, Verfahrweg 100 mm x 100 mm (x,y)
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Aufstellmaße
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570 x 400 x 730 mm (H,B,T)
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Gesamtgewicht
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125 kg (einschraubbare Transportgriffe im Lieferumfang enthalten)
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Stromversorgung
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100-240V, 50-60 Hz, 25 VA
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Arbeitsabstand (mm)
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1
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1
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1 *2
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1 *2
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Auflösung z (nm)
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10
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3
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2
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1
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Auflösung x,y (µm)
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2,31
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1,16
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0,463/0,42 *3
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0,231/0,37 *3
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Messfeld (µm)
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1780 x 1335
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890 x 655
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356 x 267
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178 x 134
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Numerische Apertur
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0,5
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0,75
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0,8
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0,9
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Arbeitsabstand (mm)
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10,3
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9,3
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7,4
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4,7
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3,4
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2,0
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Auflösung z (nm)
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1
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1
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1
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0,1
|
0,1
|
0,1
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Auflösung x,y (µm)
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9,24
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4,62
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2,31
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1,16
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0,463/0,61 *5
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0,231/0,48 *5
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Messfeld (µm)
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7120 x 5340
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3560 x 2670
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1780 x 1335
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890 x 655
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356 x 267
|
178 x 134
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Numerische Apertur
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0,075
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0,13
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0,3
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0,4
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0,55
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0,7
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Datenerfassungsmodul
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Intuitive Bedienung in 5 Arbeitsschritten, typ. Messdauer von weniger als 10 Sekunden, Stitchingfunktion
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Analysemodul (FRT Mark III) *6
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Profil- und Topographieanalysen, Rauheitsanalysen, Stufenhöhen sowie zahlreiche 2D und 3D Filter- und Auswerteroutinen
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Berichtsfunktion
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Berichtlayouts frei anpassbar, Freifelder zur Erfassung individueller Bedienereingaben
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Sprachversionen
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Deutsch / Englisch (umschaltbar)
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*1 Megapixelkamera optional erhältlich.
*2 Long Distance Objektive mit größerem Arbeitsabstand optional erhältlich.
*3 Michaelson Objektiv
*4 Mirau Objektiv
*5 geometrisch/optisch (Rayleigh Kriterium)
*6 Datenexportformate: ASCII, DXF, CSV, BMP, JPG, PNG, TIF, AVI |
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