---

CWL	CWL IR	CWL FT	CWL HR
Chromatischer Weißlichtsensor	Infrarotlicht- schichtdicken- interferometer	Weißlicht- schichtdickensensor	Hochauflösender Infrarotlichtsensor
FTR	WLI	AFM	AFAM
Dünnschicht- reflektometer	Weißlicht- interferometer	Rasterkraft- mikroskop	Ultraschallkraft- mikroskop
CFP	CFM	AFL	CSL
Konfokaler Punktsensor	Konfokales Mikroskop	Autofokus- sensor	Konoskopischer Punktsensor
FPM	ECS
Streifenlicht- projektor	Wirbelstrom- sensor