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Das im FRT CFM eingesetzte konfokale Messprinzip ist ein bewährtes, berührungsloses Messverfahren für die sehr schnelle und hochaufgelöste 3D-Messung von kleinen Strukturen in den Bereichen Forschung und Produktion wie z.B. MEMS, Mikrolinsen, Defekte und vieles mehr. Neben der Untersuchung von Mikrostrukturen, wird der Sensor für Rauheitsmessungen und zur Erfassung und Auswertung der 3D-Topographie eingesetzt. Dank des flächenhaft arbeitenden, konfokalen Messverfahrens liegen aussagekräftige Ergebnisse in weniger als 10 Sekunden vor. Die Messfeldgröße kann durch die integrierte Stitching-Funktion erweitert werden.
- Optische, berührungslose, zerstörungsfreie Messung
- Sehr schnelle, flächenhafte 3D-Messung
- Nanometer Höhenauflösung, sub-Mikrometer Lateralauflösung
- Erweiterbares Messfeld durch Stitching
- Langlebige und wartungsarme LED Lichtquelle
- Strukturmessung
- Rauheitsmessung
- 3D-Topographiemessung
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| Objektiv 1) |
10X |
20X |
50X |
100X |
| Arbeitsabstand |
1 mm |
| Auflösung z |
10 nm |
3 nm |
2 nm |
1 nm |
| Auflösung x,y |
2,31 µm |
1,16 µm |
0,463 µm / 0,42 µm 2) |
0,231 µm / 0,37 µm 2) |
| Messfeld |
1780 µm x 1335 µm |
890 µm x 655 µm |
356 µm x 267 µm |
178 µm x 134 µm |
| Numerische Apertur |
0,5 |
0,75 |
0,8 |
0,9 |
| Messwinkel |
90° ± 30° |
90° ± 48° |
90° ± 53° |
90° ± 64° |
1) Weitere Objektive erhältlich (z.B. Long-Distance)
2) Geometrisch / optisch |
| Sensor |
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| Kamera |
768 x 582 Pixel |
| Verfahrweg z |
400 µm |
| Typische Messzeit |
5 - 10 Sek. |
| Lichtquelle |
LED, 505 nm, 5 W |
| Betriebstemperatur |
25° C ± 2° C |
| Abmessungen (B x H x T) |
140 mm x 450 mm x 140 mm |
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| Lieferumfang |
| Messkopf, ein Objektiv nach Wahl, Handbuch |
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