Der FRT AFL arbeitet nach dem Prinzip der dynamischen Fokussierung. Dabei wird das Sensorobjektiv an das Messobjekt angenähert bis der Messfleck auf der Oberfläche fokussiert ist. Beim Abtasten einer Oberfläche wird dann durch Verfahren des Objektivs der Messfleck der Objekthöhe nachgeführt. Die mit hoher Genauigkeit gemessene Änderung der Objektivposition gibt die Oberflächenhöhe wieder.

zerstörungsfreie, berührungslose Messung hohe Auflösung und Genauigkeit kleiner Messfleck, hohe Ortsauflösung koaxiale Messung, keine Abschattunseffekte hohe Abtastrate integriertes Mikroskop für vereinfachte Auswahl der Messoption

Datenblatt Hauptprospekt

Messung der Topographie von empfindlichen, weichen oder auch flüssigen Oberflächen Profilmessung zur Bestimmung von Konturen und Krümmungsgradien an optischen Bauteilen Messung der Ebenheit von Wafern Bestimmung von Rauheit und Welligkeit auf technischen Oberflächen Kontrolle von elektrischen Bauteilen Entwicklung und Qulitätssicherung in der Mikrosystemtechnik Entwicklung und Prüfung von Medizintechnik-Produkten

	Messbereich z: 1,5 mm Messabstand 2 mm Auflösung in z 10 nm Auflösung x,y 1 µm Messwinkel ca. 90 ° ± 25 °*1 Schnittstelle RS 232 Lichtquelle Halbleiterlaser, 780 nm, Laserklasse 1 *2 *1 größere Messwinkel bei streuenden Oberflächen möglich *2 nach DIN EN 31252 Technische Änderungen vorbehalten.