Rasterkraftmikroskop AFM - Den Mikrokosmos entdecken
Das Rasterkraftmikroskop (AFM) ist eine Messsonde, mit der Proben durch den eingebauten Piezo-Scanner mit höchster Auflösung bis in den Sub-nm-Bereich untersucht werden können. Neben der Oberflächentopographie können durch verschiedene Messmodi auch Materialeigenschaften untersucht werden. In der Basisausführung misst das AFM im Kontakt-Modus. In Verbindung mit den FRT Geräten MicroProf® oder MicroGlider® und den optischen Sensoren steht somit bei der Probencharakterisierung ein kontinuierlicher Messbereich von wenigen μm bis 600 mm zur Verfügung.
Sensor: AFM

Eigenschaften
  • Topographiemessung mit höchster Auflösung
  • automatische Annäherung an die Oberfläche
  • Rastern der Oberfläche durch Piezoversteller im Messkopf
  • Contact/non-contact mode, Messung elektrischer und
    magnetischer Kräfte, Aufnahme von Lateralkräften und
    Elastizität *1
  • Messung in Flüssigkeiten *2
  • weitere Messmodi auf Anfrage


    *1
    Contact Mode bei Standardausführung, weitere Modi optional
    *2 optional
 
AFM Messung an einer biologischen Probe
AFM Messung an einer biologischen
Probe
Oxidschicht auf einem Wafer
Oxidschicht auf einem Wafer
Messung von Blutzellen
Messung von Blutzellen

Typische Anwendungen
  • Qualitätssicherung in der Mikrostrukturtechnik
  • Rauheitsmessungen im nm- und sub-nm-Bereich, z.B. auf
    Wafern oder optischen Bauteilen
  • Charakterisierung der Oberfläche von biologischen Proben
  • Vermessung der Geometrie von Nanostrukturen
  • Oberflächencharakterisierung von medizinischen Proben
    wie z.B. Prothesen, Katheter, Stents etc.
  • Untersuchung von elektrischen und magnetischen Eigenschaften

Technische Daten

 
Messprinzip
Rasterkraftmikroskopie
Messbereich x,y
20 μm x 20 μm
40 μm x 40 μm
80 μm x 80 μm
Messbereich z
min. 2 μm
min. 4 μm
min. 6 μm
Detektionsprinzip
Faseroptisches Interferometer
Auflösung x,y
typ. 5 nm
Auflösung z
typ. 2 nm
Rastergeschwindigkeit
1-5 Zeilen/s

Technische Änderungen vorbehalten.