Das Rasterkraftmikroskop (AFM) ist eine Messsonde, mit der Proben durch den eingebauten Piezo-Scanner mit höchster Auflösung bis in den Sub-nm-Bereich untersucht werden können. Neben der Oberflächentopographie können durch verschiedene Messmodi auch Materialeigenschaften untersucht werden. In der Basisausführung misst das AFM im Kontakt-Modus. In Verbindung mit den FRT Geräten MicroProf® oder MicroGlider® und den optischen Sensoren steht somit bei der Probencharakterisierung ein kontinuierlicher Messbereich von wenigen μm bis 600 mm zur Verfügung.

Topographiemessung mit höchster Auflösung automatische Annäherung an die Oberfläche Rastern der Oberfläche durch Piezoversteller im Messkopf Contact/non-contact mode, Messung elektrischer und magnetischer Kräfte, Aufnahme von Lateralkräften und Elastizität *1 Messung in Flüssigkeiten *2 weitere Messmodi auf Anfrage *1 Contact Mode bei Standardausführung, weitere Modi optional *2 optional

Datenblatt Hauptprospekt

AFM Messung an einer biologischen Probe Oxidschicht auf einem Wafer Messung von Blutzellen Qualitätssicherung in der Mikrostrukturtechnik Rauheitsmessungen im nm- und sub-nm-Bereich, z.B. auf Wafern oder optischen Bauteilen Charakterisierung der Oberfläche von biologischen Proben Vermessung der Geometrie von Nanostrukturen Oberflächencharakterisierung von medizinischen Proben wie z.B. Prothesen, Katheter, Stents etc. Untersuchung von elektrischen und magnetischen Eigenschaften

	Messprinzip Rasterkraftmikroskopie Messbereich x,y 20 μm x 20 μm 40 μm x 40 μm 80 μm x 80 μm Messbereich z min. 2 μm min. 4 μm min. 6 μm Detektionsprinzip Faseroptisches Interferometer Auflösung x,y typ. 5 nm Auflösung z typ. 2 nm Rastergeschwindigkeit 1-5 Zeilen/s Technische Änderungen vorbehalten.