MicroSpy® Topo - Konfokalmikroskop

Vielseitig einsetzbar 

  • Raue, reflektierende und transparente Oberflächen messbar
  • Hohe Winkelakzeptanz
  • Messfeldgröße durch Stitching-Funktion erweiterbar

Das in diesem Messgerät eingesetzte konfokale Messprinzip ist ein bewährtes, zerstörungsfreies Verfahren für die Analyse von Rauheit, Kontur und Topographie an einer Vielzahl von Proben im Labor - und Produktionsbereich.


Schneller und intuitiver Messvorgang  

  • In nur 5 Arbeitsschritten zu hochauflösenden Messdaten
  • Typische Messzeiten von weit unter einer Minute

Intuitive Bedienung und kurze Messzeiten sind neben höchster Präzision die vorrangigen Ziele für die Entwicklung von FRT Messgeräten. Nur so wird der Bediener schnell in die Lage versetzt, produktive wie aussagekräftige Analysen und Berichte zu erstellen.


Leistungsfähige Hard- und Software

  • Hervorragende Höhenauflösung im Nanometerbereich
  • Exzellente Tiefenschärfe frei von defokussierten Bildteilen
  • Langlebige und wartungsarme LED Lichtquelle
  • Umfangreiches Softwarepaket zur Datenerfassung, Analyse und Aufbereitung von Berichten

Zum Lieferumfang des MicroSpy® Topo gehören das Mess- gerät mit motorisiertem x,y-Verfahrtisch zur Probenpositio- nierung, ein leistungsfähiger PC mit TFT Monitor sowie ein Benutzerhandbuch.

Bemerkenswert in dieser Klasse von Konfokalmikroskopen ist der vollständige Aufbau aus Granit. Damit wird, wie bei allen Produkten aus dem Hause FRT, eine maximale System- und Temperaturstabilität sichergestellt.


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MicroSpy Topo / Konfokalmikroskop

Der FRT MicroSpy® Topo ist das budget- freundliche Konfokalmikroskop für schnelle und zerstörungsfreie Oberflächenanalysen. Jetzt unverbindliches Angebot anfordern

 

MicroSpy Topo / Konfokalmikroskop
Der MicroSpy® Topo zeichnet sich durch eine hohe Winkelakzeptanz und Unempfindlich- keit gegenüber rauen, reflektierenden und transparenten Proben aus.

MicroSpy Topo / Konfokalmikroskop
Rückseitenmetallisierung eines Solarwafers (L), Riefe in Wafer-Polierscheibe (R)

MicroSpy Topo / Konfokalmikroskop
Präzisions-Linearmaßstab aus Glas (L), Rillenkalibriernormal (R)


 
Messgerät  
Systemaufbau Basis und Portalaufbau aus hochwertigem Granit
Probenpositionierung Präzisionsverfahrtisch mit Joystickansteuerung, Verfahrweg 100 x 100 x 30 mm (x,y,z)
Aufstellmaße 570 x 400 x 730 mm (H,B,T)
Gesamtgewicht 125 kg (einschraubbare Transportgriffe im Lieferumfang enthalten)
Stromversorgung 100-240V, 50-60 Hz, 25 VA
 
Objektive 1 10X 20X 50X 100X
Höhenmessbereich (µm) 400 400 400 400
Arbeitsabstand (mm) 1 1 1 1
Auflösung z (nm) 10 3 2 1
Auflösung x,y (μm) 1,98 1 0,396/0,42*2 0,198/0,37*2
Messfeld (μm) 1520 x 1140
760 x 560
304 x 228
152 x 114
Numerische Apertur 0,5 0,75 0,8 0,9
 
Softwarepaket  
Datenerfassungsmodul Intuitive Bedienung in 5 Arbeitsschritten, typ. Messdauer < 1 Minute, Stitchingfunktion
Analysemodul (FRT Mark III)*3 Profil- und Topographieanalysen, Rauheitsanalysen, Stufenhöhen
sowie zahlreiche 2D und 3D Filter- und Auswerteroutinen
Berichtsfunktion Berichtlayouts frei anpassbar, Freifelder zur Erfassung individueller Bedienereingaben
Sprachversionen Deutsch / Englisch (umschaltbar)

 1
Der Lieferumfang umfasst ein Objektiv nach Wahl.

 2 Geometrisch / optisch (Rayleigh Kriterium)
 3 Exportformate: ASCII, Autocad DXF, CSV, BMP, JPG, PNG, TIF