Der FRT CWL FT beruht auf der spektralen Auswertung der Überlagerung von Teilwellen, die an den Grenzflächen einer transparenten Schicht reflektiert werden. Bei gegebener Schichtdicke und Brechzahl variiert die Intensität der überlagerten Teilstrahlen mit der Wellenlänge. Das Spektrum zeigt dann eine typische Welligkeit, aus der die Schichtdicke bestimmt wird. In einem Mehrschichtsystem können so auch einzelne Schichten selektiert werden.

zerstörungsfreie, berührungslose Schichtdickenmessung hohe Ortsauflösung leichter Messkopf ohne bewegliche Elemente geeignet für transparente, glatte Schichten Untersuchung auch von Mehrschichtsystemen	Datenblatt Hauptprospekt
Messung von Foliendicken in der Lebensmittelindustrie Kontrolle von Blisterverpackungen Ortsaufgelöste Schichtdickenmessung in der Halbleiterindustrie Messung von Lackdicken in der Automobilindustrie Untersuchung von Mehrschichtsystemen, z.B. Luftspalt unter transparenter Deckschicht

	Messprinzip Interferometrische Schichtdickenmessung Wellenlängenbereich ca. 400 nm ... 850 nm Messbereich 2 μm ... 200 μm Auflösung Schichtdicke 10 nm Auflösung x,y < 40 µm < 10 μm Messabstand 26 mm 9 mm Messwinkel zur Oberfläche ca. 90° ± 5° ca. 90° ± 5° Technische Änderungen vorbehalten.