FRT CWL FT - Interferometrischer Schichtdickensensor - Fries Research & Technology

Der FRT CWL FT ist ein interferometrisch arbeitender Schichtdickensensor, der speziell für die Messung der Dicke von Produkten wie z.B. Folien oder Beschichtungen entwickelt wurde, die für sichtbares Licht transparent sind. Die Messungen können an einzelnen Positionen, im Profil sowie flächig in Form eines Mappings durchgeführt werden. Zudem eignet sich der Sensor auch für die Charakterisierung von Mehrschichtsystemen.

Optische, berührungslose und zerstörungsfreie Messung
Hohe Orts- und Dickenauflösung
Hervorragendes Signal-/ Rauschverhältnis
Kleiner, robuster, verschleißfreier Messkopf

Datenblatt

Punktuelle Dickenmessung
2D-Profilmessung
3D-Schichtdickenmapping
Dickenmessung einzelner Schichten und Schichtsysteme
Messung von Foliendicken in der Lebensmittelindustrie
Kontrolle von Blisterverpackungen
Ortsaufgelöste Schichtdickenmessung in der
Halbleiterindustrie
Messung von Lackdicken in der Automobilindustrie
Untersuchung von Mehrschichtsystemen, z.B. Luftspalt
unter transparenter Deckschicht

Messfleckdurchmesser	CWL FT 10 µm	CWL FT 40 µm
Messbereich Schichtdicke ¹⁾	CWL: 3 – 180 µm / CWL F: 2 – 250 µm / CWL X: 2 – 250 µm
Arbeitsabstand	9,5 mm	27 mm
Auflösung Schichtdicke ¹⁾	10 nm	10 nm
Auflösung x,y	5 µm	20 µm
Numerische Apertur	0,17	0,09
Messwinkel	90° ± 10°	90° ± 5°
1) Bei Brechungsindex von n=1

Sensorelektronik	CWL	CWL F	CWL X
Messrate	2.000 Messungen /Sek.' (2 kHz)	4.000 Messungen / Sek. (4 kHz)	14.000 Messungen / Sek. (14 kHz)
Lichtquelle	LED	Halogenlampe	Xenon Hochdrucklampe
Wiederholbarkeit	< 0,00009 x Messbereich
Kalibriertabellen	16
Betriebstemperatur	+ 5° C bis + 50° C
Abmessungen (B x H x T)	200 mm x 100 mm x 93 mm	260 mm x 115 mm x 310 mm	360 mm x 160 mm x 400 mm

Lieferumfang
Messkopf, optische Faser, Sensorelektronik, Handbuch