Der FRT CWL FT beruht auf der spektralen Auswertung der Überlagerung von Teilwellen, die an den Grenzflächen einer transparenten Schicht reflektiert werden. Bei gegebener Schichtdicke und Brechzahl variiert die Intensität der überlagerten Teilstrahlen mit der Wellenlänge. Das Spektrum zeigt dann eine typische Welligkeit, aus der die Schichtdicke bestimmt wird. In einem Mehrschichtsystem können so auch einzelne Schichten selektiert werden.

zerstörungsfreie, berührungslose Schichtdickenmessung hohe Ortsauflösung leichter Messkopf ohne bewegliche Elemente geeignet für transparente, glatte Schichten Untersuchung auch von Mehrschichtsystemen	Datenblatt Hauptprospekt
Messung von Foliendicken in der Lebensmittelindustrie Kontrolle von Blisterverpackungen Ortsaufgelöste Schichtdickenmessung in der Halbleiterindustrie Messung von Lackdicken in der Automobilindustrie Untersuchung von Mehrschichtsystemen, z.B. Luftspalt unter transparenter Deckschicht

Arbeitsabstand 9 mm 26 mm Lichtquelle  LED                             Halogen/Xenon  LED                             Halogen/Xenon Messbereich1 3 µm ... 180 µm          2 µm ... 250 µm 3 µm ... 180 µm          2 µm ... 250 µm Auflösung x, y < 5 µm < 20 µm Messwinkel 90° ± 10° 90° ± 5 ° Auflösung Schichtdicke 10 nm Wellenlängenbereich ca. 350 nm ... 850 nm  1 für Brechungsindex von n=1 Technische Änderungen vorbehalten.