Der FRT CWL HR arbeit wie die anderen Sensoren der CWL-Familie nach dem Prinzip der chromatischen Abstandsmessung. Das Licht wird in Abhängigkeit von seiner Wellenlänge in verschiedenen Abständen vor dem Messkopf fokussiert. Ausgewertet wird das Spektrum des reflektierten Lichts. Das zeigt einen charakteristischen Peak, aus dessen zugehöriger Wellenlänge die Höhe der Oberfläche bestimmt wird. Dank seiner modifizierten Optik und der Superlumineszenzdiode erreicht der CWL HR die höchste Lateralauflösung aller CWL Sensoren und arbeitet gleichermaßen problemlos auf spiegelnden und rauen sowie hochreflektierenden und lichtabsorbierenden Oberflächen.

Datenblatt CWL HR

Zerstörungsfreie, berührungslose Messung Sub-µm Lateralauflösung (x, y) Große numerische Apertur (Messung steiler Flanken) Koaxiale Messung, keine Abschattungseffekte Leichter Messkopf ohne bewegliche Elemente

Schnelle Profil- und Topographiemessungen, auch auf empfindlichen Oberflächen Messung feiner Strukturen in der Mikrosystemtechnik und der Nanotechnologie Messung dünner transparenter Schichten Messung von Stufenhöhen, Abständen, Winkeln in der Elektronik- und Halbleiterfertigung Geometriekontrolle beim Mikro-Spritzguss Oberflächencharakterisierung in der Medizintechnik

Messbereich 100 µm Messabstand 5,8 mm Auflösung z 10 nm Auflösung x, y 0,7 µm Messwinkel ca. 90° ±40° Schnittstellen USB, R232, analog Messrate max. 4 kHz Lichtquelle SLD 830 nm      Technische und inhaltliche Änderungen vorbehalten.