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Der FRT CWL IR ist ein interferometrischer Schichtdickensensor mit Infrarotlichtquelle, der speziell für die Messung der Dicke von Produkten entwickelt wurde, die im nahen Infrarotlicht transparent sind. Die Messungen können an einzelnen Positionen, im Profil sowie flächig in Form eines Mappings durchgeführt werden. Zudem eignet sich der Sensor auch für die Untersuchung von Mehrschichtsystemen. Typische Anwendungsbeispiele sind die Dickenmessung von Halbleiter- und Saphirwafern, Gläsern sowie Beschichtungen. Außerdem wird der CWL IR für die Charakterisierung von Kleberschichten bei gebondeten Wafern eingesetzt.
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