Der FRT CWL IR beruht auf der spektralen Auswertung der Überlagerung von Teilwellen, die an den Grenzflächen einer transparenten Schicht reflektiert werden.

Bei gegebener Schichtdicke und Brechzahl variiert die Intensität der überlagerten Teilstrahlen mit der Wellenlänge. Das Spektrum zeigt dann eine typische Welligkeit, aus der die Schichtdicke bestimmt wird.

Anders als der Schichtdickensensor CWL FT, der mit sichtbarem Licht misst, nutzt der CWL IR einen schmalen Wellenlängenbereich um 1300 nm.

Damit können alle Materialien, die für sichtbares Licht opak, für infrarotes Licht aber transparent sind, vermessen werden.

• zerstörungsfreie, berührungslose Schichtdickenmessung
• großer Messbereich
• hohe Ortsauflösung
• leichter Messkopf ohne bewegliche Elemente
• geeignet für transparente, glatte Schichten

• Messung von Schichtdicken an Materialien, die im sichtbaren
  Spektralbereich opak, im nahen Infrarot aber transparent sind
• Lokale Schichtdickenmessung in der Halbleiterindustrie
• Schnelles Mapping der Dicke von Si-Wafern
• Dickenmessung auch an getapten Wafern