Der Wirbelstromsensor FRT ECS ermöglicht die Messung elektrischer und magnetischer Eigenschaften der Probenoberfläche. Dadurch unterscheidet er sich grundsätzlich von anderen Sensoren mit denen die Topographie der Probe vermessen wird.
Während der Messung wird mit der miniaturisierten Wirbelstromspule ein magnetisches Wechselfeld erzeugt. Aus einem sehr schmalen Spalt an der Unterseite des Sensors tritt das Magnetfeld aus und kann durch die Probe beeinflusst werden. Diese Variationen des Magnetfeldes durch die Probe werden von der Elektronik registriert und dienen als Messsignal.
Durch den Einsatz der Mehrkanaltechnik kann das Wirbelstromsignal bei bis zu vier Messfrequenzen gleichzeitig aufgenommen werden. Dies ermöglicht durch die Korrelation der Messwerte untereinander auch die Schichtdickenmessung elektrisch leitfähiger oder magnetischer Dünnschichten bzw. die Messung nicht leitender Dünnschichten auf einem leitfähigen oder magnetischen Substrat.
