Bei der Weißlichtinterferometrie werden wie bei der klassischen Interferometrie mit einer Kamera Interferenzbilder aufgenommen, die aus der Überlagerung des Lichtes vom Messobjekt mit dem Licht, das an einem Referenzspiegel reflektiert wird, entstehen. Bei der Weißlichtinterferometrie wird Weißlicht mit kurzer Kohärenzlänge eingesetzt. Für eine Topographiemessung wird die z-Position des Objektivs in kleinen Schritten verstellt und an jeder Position ein Interferenzbild aufgenommen. Man erhält einen Bildstapel, aus dem die Höhendaten berechnet werden.

Durch die Verwendung der Weißlichtquelle können Oberflächen mit der für interferometrische Messverfahren bekannten, sehr guten Höhenauflösung erfasst werden und es können zudem gleichermaßen glatte und rauhe Oberflächen gemessen sowie auch Stufensprünge erfasst werden.

• Berührungslose, zerstörungsfreie Messung
• Sub-Nanometer Höhenauflösung
• Schnelle flächenhafte 3D Messung
• Messung von spiegelnden, rauen und strukturierten Oberflächen

• Rauheitsmessung im nm Bereich, z.B. auf optischen Komponenten wie Linsen und Spiegel
• Erfassung von Mikrostrukturen (z.B. MEMS, Mikrofluidik-Bauteile, Mikrolinsen)
• Messung von Stufenhöhen in der Halbleiterfertigung
• Messung auf verschiedenen Materialien
  (z.B. Metall, Halbleiter, Glas, Kunststoffe, Papier, Lacke und Beschichtungen)
• Messung auf Flüssigkeiten