Der FRT WLI FL ist ein optischer 3D-Flächensensor, der auf dem Verfahren der Weißlichtinterferometrie basiert. Er zeichnet sich durch schnelle, flächige Topographiemessungen mit hervorragender Höhenauflösung im Sub-Nanometer Bereich aus. Damit ist der Sensor im phasenschiebenden Modus (PSI) ideal für Rauheitsmessungen an ebenen Oberflächen geeignet. Topographiemessungen werden hochaufgelöst im Vertical Scanning Modus (VSI) durchgeführt. Typische Messaufgaben sind Untersuchungen von Bauteilen wie z.B. Mikrospiegeln, Linsen, MEMS, Mikrofluidiksystemen und Mikroelektronik.
	Berührungslose, zerstörungsfreie Messung Sehr schnelle, flächige 3D-Messung Sub-Nanometer Höhenauflösung Objektivunabhängige Vertikalauflösung im nm Bereich Besonders geeignet zur Charakterisierung sehr glatter, polierter Oberflächen	Datenblatt WLI FL
	3D-Topographie Messung der Rauheit im nm Bereich, z.B. auf optischen Komponenten wie Linsen und Spiegel Erfassung von Mikrostrukturen (z.B. MEMS, Mikrofluidik-Bauteile, Mikrolinsen) Messung von Stufenhöhen in der Halbleiterfertigung Messung auf verschiedenen Materialien (z.B. Metall, Halbleiter, Glas, Kunststoffe, Papier, Lacke und Beschichtungen) Messung auf Flüssigkeiten
	Objektiv (Mirau) 10x 20x 50x Messbereich z 1) 96 µm Arbeitsabstand 3,6 mm 3,6 mm 1,7 mm Auflösung z 0,1 nm Auflösung x,y 2,5 μm 1,25 μm 0,5 μm Messfeldgröße 1,6 mm x 1,2 mm 0,8 mm x 0,6 mm 0,32 mm x 0,24 mm 1) Optional bis 396 μm Betriebstemperatur: 5°C – 40°C Lieferumfang Messkopf, 10x und 20x Objektiv, Sensorelektronik, Handbuch